三氯氫硅生產(chǎn)中氯化氫是必不可少的，但是因其氯化氫的腐蝕性，在生產(chǎn)工藝上還是有很多弊端。

    三氯氫硅的傳統(tǒng)合成方法是氯化氫和硅粉在沸騰爐中反應(yīng)，這種方法副產(chǎn)15%～20%的四氯化硅。雖然四氯化硅可通過(guò)氫化工藝轉(zhuǎn)化為三氯氫硅，但需要在高溫、高壓條件下完成，且能耗高，腐蝕設(shè)備，資金投入也較大。目前四氯氫硅主要靠生產(chǎn)硅酸乙酯尋找出路，但是隨著有機(jī)硅行業(yè)的迅猛發(fā)展，三氯氫硅的產(chǎn)量不斷提高,副產(chǎn)品四氯化硅的產(chǎn)量也隨之增加,生產(chǎn)硅酸乙酯只消耗有限的四氯化硅，這直接影響了三氯氫硅的生產(chǎn)。因此,必須采取有效的方法提高三氯氫硅的收率，減少四氯化硅的產(chǎn)量。

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