特殊材料氣體的運用
淄博言赫特氣有限公司具有較強的技術(shù)開發(fā)力量,建有設(shè)備完善的中心實驗室、高純氯化氫產(chǎn)品研發(fā)中心和沸石催化劑測試中心,分別負責技術(shù)開發(fā)、氯化氫和催化劑產(chǎn)品的研發(fā)。
我公司的電子特氣廣泛應用于半導體、微電子和關(guān)聯(lián)的太陽能電池等高科技產(chǎn)業(yè),或用于薄膜堆積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗,或用作載氣、維護氣氛等等。
什么是電子氣體? 所謂電子氣體,顧名思義就是電子產(chǎn)品制造上的氣體,它主要是指半導體制造用氣。按其門類可分為純氣,高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延,摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合,可分為電子級,LSI(大規(guī)模集成電路)級,VLSI(超大規(guī)模集成電路)級和ULSI(特大規(guī)模集成電路)級。
公司現(xiàn)有年產(chǎn)2000噸高純氯化氫生產(chǎn)線,連續(xù)批量生產(chǎn)應用于單晶硅外延片制造的5N(99.999%)電子級(VLSI)氯化氫,以及應用于醫(yī)藥中間體、農(nóng)藥及精細化學品制造的2.8N(99.8%)化學級氯化氫。產(chǎn)品性能先進,質(zhì)量穩(wěn)定,處于國內(nèi)領(lǐng)先地位。歡迎您來電訂購我們的產(chǎn)品,我們的產(chǎn)品純度高、性質(zhì)穩(wěn)定,是您理想的生產(chǎn)原料。
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